構造が安定しており、適用性がよく、大重量荷重窯に適応し、窯具の重量を軽減し、窯炉のエネルギー消費を低減する。熱交換装備の新型熱交換器。
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LPCVD長背膜のグラファイトボート
拡散用炉管
太陽電池チップ炭化ケイ素ボート
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