炭化ケイ素ボートホルダーは、従来の石英ボートホルダーの代わりに光起電力ウエハ拡散装置に使用されるべきである。
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拡散用炉管
LPCVD長背膜のグラファイトボート
例
画面を長押しして2次元コードを識別する
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