在芯片制造中，有一种材料扮演着至关重要的角色，那就是氮化硅（SiNx）。尽管它可能并未获得和其他更为熟知的半导体材料，如硅（Si）、砷化镓（GaAs）或氮化镓（GaN）等同样的关注，但它的重要性无疑

氮化物是在工程陶瓷中研究得比较多的一类非氧化物材料。在这类材料中应用得比较多的有Si3N4、BN、TiN等，它们都是共价键化合物或离子键化合物，具有键强大，硬度大、熔点高、化学性质稳定，耐化学腐蚀等特

碳化硅概述碳化硅为一种典型的共价键结合的化合物，自然界中存在很少，属于人工合成材料。碳化硅有许多优异的性能，如耐磨削、耐高温、耐腐蚀、高热导率、高化学稳定性、宽带隙以及高电子迁移率等。由于碳化硅的超常

氮化硅/碳化硅复合陶瓷材料是一种特殊的碳化硅制品，20世纪70年代被广泛应用于磨具磨料以及电陶瓷行业，上世纪80年代我国将该材料进行引入。 氮化硅和碳化硅的密度相近，当柱状的氮化硅穿插在碳化硅颗粒之